[전자재료test(실험) ] MOS Capacitor
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작성일 19-12-05 04:03
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3. 實驗(실험)理論(이론)
Si-wafer
① Si의 property(특성)
실리콘은 일반적으로 규소-규소 결합이 아주 불안정하기 때문에 산화물 실리콘(SiO2)으로 모래, 암석, 광물 등의 형태로 존재한다.
[전자재료test(실험) ] MOS Capacitor
- 목차 -
1. 實驗(실험) 목적
···········
p. 2
2. 實驗(실험) 배경
···········
p. 2
3. 實驗(실험) 理論(이론)
···········
p. 2
① Si의 property(특성)
···········
p. 2
② MOS Capacitor
···········
p. 3
③ E-Beam의 구조와 증착원리
···········
p. 8
4. 實驗(실험) 방법
···········
p. 9
5. 결과 예측
···········
p. 11
6. 결과 분석
···········
p. 12
① C-V 결과 분석
···········
p. 12
② I-V 결과 분석
···········
p. 16
7. 결론
···········
p. 19
8. 서지사항
···········
p. 19
1. 實驗(실험) 목적
MOS capacitor를 직접 제작하면서 그 공정을 이해하고, dielectric material의 두께 및 electrode의 ...
- 목차 -
1. 實驗(실험) 목적
···········
p. 2
2. 實驗(실험) 배경
···········
p. 2
3. 實驗(실험) 理論(이론)
···········
p. 2
① Si의 property(특성)
···········
p. 2
② MOS Capacitor
···········
p. 3
③ E-Beam의 구조와 증착원리
···········
p. 8
4. 實驗(실험) 방법
···········
p. 9
5. 결과 예측
···········
p. 11
6. 결과 분석
···········
p. 12
① C-V 결과 분석
···········
p. 12
② I-V 결과 분석
···········
p. 16
7. 결론
···········
p. 19
8. 서지사항
···········
p. 19
1. 實驗(실험) 목적
MOS capacitor를 직접 제작하면서 그 공정을 이해하고, dielectric material의 두께 및 electrode의 크기를 변수로 두고 C-V와 I-V를 측정(measurement)하여 각각의 변수가 어떤 影響을 미치는지에 대하여 분석해 본다. 이는 이전 transistor에 비해 저렴한 생산비와 기술적 이점을 가졌으며 성능 또한 우수해 전자工學에서 주도적인 역할을 차지하게 되었다.
2. 實驗(실험) 배경
1960년에 벨 연구소의 연구진은 금속 산화막 반도체 전계효능 transistor(MOSFET)을 발명했다. 이러한 MOSFET의 바탕이 되는 MOS를 이용한 cpacitor 즉 MOS capacitor는 유전체로써 oxide를 사용하였기 때문에 붙여진 이름이며 이번 實驗(실험)에서 제작할 소자이다. 오늘날과 같은 디지털정보사회가 되기까지 마이크로프로세서와 같은 디지털 기술이 성장에 발맞추어 MOSFET기술 또한 빠르게 발전해 왔다. 이들은…(To be continued )
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