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[Rich-ard C.Jaeger] 반도체공정개론 해답

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작성일 21-03-11 07:52

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[Rich-ard C.Jaeger] 반도체공정개론 해답





순서





1. 미소전자 제조 공정
2. 리소그래피
3. 실리콘 산화막
4. 확산
5. 이온 주입법
6. 박막 증착
7. 상호접속과 접촉
8. 패키징 및 수율
9. MOS 공정 집적화
10. 양극 공정 집적화
11. MEMS 공정
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